Chin. J. Semicond. > Volume 13 > Issue 11 > Article Number: 704

硅中碳含量的低温红外光谱测量和碳带的温度特性

何秀坤 , 王琴 , 李光平 , 阎萍 , 汝琼娜 and 李晓波

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Abstract: 本文报告了硅单晶中替位碳红外吸收带温度特性和光谱分辨率对碳带特征参数影响的研究结果.在 80~310K温度范围,碳带半宽度随测量温度降低而线性减小,吸收系数和峰位分别随温度下降而线性增加和有规律地向高频方向移动;液氮温度时碳带吸收系数较室温增加一倍;低于液氮温度时碳带特征参数不随测量温度而变.不同光谱分辨率(1-4cm~(-1))测量结果表明:碳带吸收系数和半宽度分别随光谱分辨率提高增加和减小.室温和液氮温度碳含量的定量测量,光谱分辨率分别以2cm~(-1)和1cm~(-1)为宜.

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Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 November 1992

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