Chin. J. Semicond. > 2005, Volume 26 > Issue 1 > 148-152

PDF

Abstract: 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺.该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度,同时降低了陀螺的热机械噪声.对陀螺噪声特性进行的分析表明,该陀螺具有相对很低的热噪声.制作了陀螺芯片,并测试了其机械性能和噪声特性.结果表明,该陀螺的噪声谱密度不超过60μV/Hz1/2,灵敏度为10mV/(°·s-1).该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率.

  • Search

    Advanced Search >>

    Article Metrics

    Article views: 2240 Times PDF downloads: 1548 Times Cited by: 0 Times

    History

    Received: 19 August 2015 Revised: Online: Published: 01 January 2005

    Catalog

      Email This Article

      User name:
      Email:*请输入正确邮箱
      Code:*验证码错误
      大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J]. Journal of Semiconductors, 2005, In Press. 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(1): 148.Export: BibTex EndNote
      Citation:
      大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J]. Journal of Semiconductors, 2005, In Press.

      大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(1): 148.
      Export: BibTex EndNote

      大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性

      • Received Date: 2015-08-19

      Catalog

        /

        DownLoad:  Full-Size Img  PowerPoint
        Return
        Return