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MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜[J]. Journal of Semiconductors, 2005, In Press.
MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(1): 38.
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MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜
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Abstract
采用金属有机化学气相沉积方法在玻璃上生长了掺氮的低电阻p型ZnO薄膜.实验使用NO和N2O共同作为氧源,且NO同时作为掺氮源,二乙基锌作为锌源.X射线衍射测试表明薄膜具有c轴择优取向的结构特性,二次离子质谱分析证实了氮被掺入了ZnO薄膜.通过优化锌源流量获得了最高空穴浓度为1.97×10/up18/cm-3,最低电阻率为3.02Ω·cm的ZnO薄膜. -
References
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