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三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法[J]. Journal of Semiconductors, 2005, In Press.
三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(1): 202.
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三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法
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Abstract
基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法.该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵.数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上. -
References
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