三重扩散型IGBT的计算机模拟分析

Abstract: 本文根据目前国内半导体工艺水平的现状,提出了一种适合我国国情的制作IGBT的工艺方法─—三重扩散法,着重用器件模拟的方法,从理论上分析了三重扩散法在高压IGBT器件制作上的优势和切实可行性,并用实验的结果验证了其正确性.

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