微型固态库仑滴定传感器的研制

Abstract: 本文介绍了一种离子敏场效应管(ISFET)与库仑滴定分析技术相结合而形成的固态库仑滴定传感器.采用MOSIC工艺和硅微机械加工技术制成了尺寸为6×7mm2上面含有IS-FET敏感元件及执行元件的工作管芯,可对有效滴定体积约为0.2μL的酸碱溶液在30秒内完成库仑滴定分析,其分析结果与常规的容量分析相一致.

    HTML

Relative (20)

Journal of Semiconductors © 2017 All Rights Reserved