利用响应表面方法的器件稳健性设计(英文)

Key words: 响应表面方法, 实验设计, 器件稳健性设计

Abstract: 器件稳健性设计本质上是一个多个目标的优化问题 .将实验设计和响应表面方法相结合可用来满足减少所需的 TCAD模拟次数的强烈需求 .然而对一些非线性问题 ,RSM模型的误差可能会大到影响设计结果的有效性 .为找到可行空间 ,提出了一种考虑 RSM模型误差时 ,面向目标的多代设计方法 .通过在由当前代中的 RSM模型结果所得到的有希望空间中增加设计 ,使得模型误差减小并得到可行空间 .对 FIBMOS例子的结果显示本方法是有效的 .

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