硅基铁电薄膜的制备和特性研究

Abstract: 本文详细介绍了在硅衬底上用SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜电容的工艺步骤,对铁电薄膜进行了XPS分析、表面形貌分析、XRD分析,测量了铁电电容的电滞回线及C-V曲线,并分析了各种工艺条件对铁电薄膜性能的影响.

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