针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真

Key words: 集成电路, Monte-Carlo方法, 仿真

Abstract: 对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究 ,给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法—— Monte- Carlo方法和关键面积提取方法 ,这对集成电路成品率设计和分析是非常重要的

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