Chin. J. Semicond. > Volume 13 > Issue 11 > Article Number: 655

金刚石膜和类金刚石膜的电子能量损失谱和喇曼光谱的研究

孙碧武 , 谢侃 , 赵铁男 , 刘竞青 , 齐上雪 , 张晓平 , 高志强 and 林彰达

+ Author Affiliations + Find other works by these authors

PDF

Abstract: 用电子能量损失谱(EELS)研究了金刚石膜、类金刚石膜和高取向石墨的特征能量损失峰.金刚石膜的特征峰主要是5.4eV和15eV的带间跃迁,23eV和34eV的表面等离子激元和体等离子激元.类金刚石膜的特征峰主要是 4.5eV的π电子的体等离子激元,13eV的带间跃迁,22.4eV的(π+ σ)电子的体等离子激元.石墨的特征峰主要是6eV的π电子的等离子激元,13eV带间跃迁和C轴方向等离子激元,20eV的C轴方向的等离子激元和25.6eV的基面等离子激元.比较了α-C和α-C:H能量损失谱和喇曼光谱,利用hω_(p(π+σ))和hω_(p(x))峰位计算了类金刚石膜中sp~3键和sp~2键的比例.研究了不同CH_4浓度生长的金刚石膜的能量损失谱,利用hω_(p(π+σ))和hω_(p(x))峰位计算金刚石膜中类金刚石第二相内的sp~2键和sp~3键的比例,利用第二相的体等离子激元损失峰hω_(p(π+σ))与金刚石的体等离子激元损失峰hω_(p(σ))的强度比来估价第二相的多少.

Search

Advanced Search >>

Article Metrics

Article views: 1701 Times PDF downloads: 1138 Times Cited by: 0 Times

History

Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 November 1992

Email This Article

User name:
Email:*请输入正确邮箱
Code:*验证码错误