Chin. J. Semicond. > 1983, Volume 4 > Issue 5 > 471-476
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一个估算重离子在SiO_2、Al_2O_3和Si_3N_4中的R_p和ΔR_p的经验公式

李金华 , 张永恩 , 夏日源 and 陈鄂生

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    Received: 20 August 2015 Revised: Online: Published: 01 May 1983

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      Article Navigation >  Journal of Semiconductors  > 1983  >  4(5): 471-476
      李金华, 张永恩, 夏日源, 陈鄂生. 一个估算重离子在SiO_2、Al_2O_3和Si_3N_4中的R_p和ΔR_p的经验公式[J]. 半导体学报(英文版), 1983, 4(5): 471-476.
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      李金华, 张永恩, 夏日源, 陈鄂生. 一个估算重离子在SiO_2、Al_2O_3和Si_3N_4中的R_p和ΔR_p的经验公式[J]. 半导体学报(英文版), 1983, 4(5): 471-476.
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      • Received Date: 2015-08-20

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