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叶志镇,曹青,张侃,赵炳辉,李剑光,阙端麟,谢琪,雷震霖. 具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3"硅片低温外延研究[J]. 半导体学报(英文版), 1996, 17(12): 932-935.
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