Chin. J. Semicond. > 1990, Volume 11 > Issue 11 > 866-870
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离子注入及退火对GaAs/Si晶体完整性影响的研究

肖光明 , 殷士端 , 张敬平 , 范缇文 , 刘家瑞 , 丁爱菊 , 周均铭 and 朱沛然

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    Received: 19 August 2015 Revised: Online: Published: 01 November 1990

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      肖光明, 殷士端, 张敬平, 范缇文, 刘家瑞, 丁爱菊, 周均铭, 朱沛然. 离子注入及退火对GaAs/Si晶体完整性影响的研究[J]. 半导体学报(英文版), 1990, 11(11): 866-870.
      Citation:
      肖光明, 殷士端, 张敬平, 范缇文, 刘家瑞, 丁爱菊, 周均铭, 朱沛然. 离子注入及退火对GaAs/Si晶体完整性影响的研究[J]. 半导体学报(英文版), 1990, 11(11): 866-870.
      shu

      • Received Date: 2015-08-19

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