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李映雪, 张旭光, 张美云, 陈南翔, 王阳元, 李树杰, 都安彦. 形成SOI结构的ELO技术研究[J]. 半导体学报(英文版), 1992, 13(5): 287-292.
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Received: 19 August 2015 Revised: Online: Published: 01 May 1992
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李映雪, 张旭光, 张美云, 陈南翔, 王阳元, 李树杰, 都安彦. 形成SOI结构的ELO技术研究[J]. 半导体学报(英文版), 1992, 13(5): 287-292.
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