微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析

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方绪文, 唐洁影, 黄庆安. 微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(2): 379-384. ****微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(2): 379.

Citation:

方绪文, 唐洁影, 黄庆安. 微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(2): 379-384. ****

微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(2): 379.

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方绪文, 唐洁影, 黄庆安. 微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(2): 379-384. ****

微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(2): 379.

Abstract

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分析了微加工悬臂梁在横向冲击下的响应．将悬臂梁看作一个质量分布参数系统，利用模态叠加法计算悬臂梁在冲击下的位移和应力分布，并根据位移和应力的最大值判断悬臂梁可能的失效模式，从而为MEMS器件的可靠性设计提供依据．

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