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曹福年, 卜俊鹏, 吴让元, 郑红军, 惠峰, 白玉珂, 刘明焦, 何宏家. X射线回摆曲线定量检测SI-GaAs抛光晶片的亚表面损伤层厚度[J]. 半导体学报(英文版), 1998, 19(8): 635-640.
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