Chin. J. Semicond. > 2003, Volume 24 > Issue 11 > 1140-1144
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具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)

左玉华 , 黄昌俊 , 成步文 , 蔡晓 , 毛容伟 , 李传波 , 罗丽萍 , 高俊华 , 白云霞 , 姜磊 , 马朝华 , 朱家廉 , 王良臣 , 余金中 and 王启明

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Key words: MOEMS, 可调谐滤波器, Fabry-Perot, 表面微机械技术

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    Received: 20 August 2015 Revised: Online: Published: 01 November 2003

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      Article Navigation >  Journal of Semiconductors  > 2003  >  24(11): 1140-1144
      左玉华, 黄昌俊, 成步文, 蔡晓, 毛容伟, 李传波, 罗丽萍, 高俊华, 白云霞, 姜磊, 马朝华, 朱家廉, 王良臣, 余金中, 王启明. 具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(11): 1140-1144.
      Citation:
      左玉华, 黄昌俊, 成步文, 蔡晓, 毛容伟, 李传波, 罗丽萍, 高俊华, 白云霞, 姜磊, 马朝华, 朱家廉, 王良臣, 余金中, 王启明. 具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(11): 1140-1144.
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      • Received Date: 2015-08-20

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