Chin. J. Semicond. > 2003, Volume 24 > Issue 6 > 592-597
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一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)

何平 , 江波 , 林曦 , 刘理天 , 田立林 , 李志坚 , 董业明 , 陈猛 and 王曦

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Key words: DSOI, 局域注氧技术, 自热效应, 热阻

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    Received: 20 August 2015 Revised: Online: Published: 01 June 2003

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      何平, 江波, 林曦, 刘理天, 田立林, 李志坚, 董业明, 陈猛, 王曦. 一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(6): 592-597.
      Citation:
      何平, 江波, 林曦, 刘理天, 田立林, 李志坚, 董业明, 陈猛, 王曦. 一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(6): 592-597.
      shu

      • Received Date: 2015-08-20

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