| Citation: |
陈永, 焦继伟, 王惠泉, 金仲和, 张颖, 熊斌, 李昕欣, 王跃林. 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(1): 148-152.
****
陈永, 焦继伟, 王惠泉, 金仲和, 张颖, 熊斌, 李昕欣, 王跃林. 2005: 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性. Journal of Semiconductors, 26(1): 148-152.
|
大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性
-
Abstract
设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺．该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼，有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度,同时降低了陀螺的热机械噪声．对陀螺噪声特性进行的分析表明，该陀螺具有相对很低的热噪声．制作了陀螺芯片，并测试了其机械性能和噪声特性．结果表明，该陀螺的噪声谱密度不超过60μV/Ｈｚ1/2，灵敏度为10mV/（°·s－１）．该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率． -
References
-
Proportional views
DownLoad: