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张正元, 温志渝, 徐世六, 张正番, 刘玉奎, 李开成, 黄尚廉. 多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文)[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(8): 798-802.
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Key words: 微机械开关, 下拉电压, 静电引力, 金属膜
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Received: 20 August 2015 Revised: Online: Published: 01 August 2003
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张正元, 温志渝, 徐世六, 张正番, 刘玉奎, 李开成, 黄尚廉. 多晶硅衬底上的RF MEMS开关(英文)[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(8): 798-802.
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