梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响

Abstract: 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下,对传感器的可靠性工作范围的影响。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,当电容极板间的倾斜角由0.1度变到0.5度时,单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围分别变为电容极板完全平行时的0.45、0.56。对力平衡的双边梳齿电容结构,当倾斜角由0.1o变到0.15o时,可靠工作范围分别变为原来的0.925。并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进方法。

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