注砷硅快速热退火过程研究

Abstract: 本文研究砷注入硅后以高频感应石墨作辐射热源的快速热退火过程.实验结果表明,快速热退火过程可分为二个阶段:第一阶段为固相外延再生长.第二阶段为高温消除损伤.

    HTML

Relative (20)

Journal of Semiconductors © 2017 All Rights Reserved