Chin. J. Semicond. > Volume 13 > Issue 10 > Article Number: 600

掺锌砷化镓样品的SIMS定量分析

陈宇 and 范垂祯

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Abstract: 本文利用注入剂量法,对离子注入掺Zn的GaAs样品进行了SIMS定量分析,得到了Zn在GaAs中的浓度分布,并由此获得了稳定的相对灵敏度因子,利用相对灵敏度因子法对GaAs 中的掺杂元素进行定量分析,获得了较好的结果,相对偏差小于 8 %,此外,本文讨论了GaAs中杂质元素二次离子产额的覆氧效应,对注入剂量法进行了覆氧修正.

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Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 October 1992

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