Chin. J. Semicond. > Volume 18 > Issue 5 > Article Number: 350

连续波电光检测法用于检测超薄层异质结外延材料均匀性的研究

苏小元 and 朱祖华

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Abstract: 本文以连续波电光检测法(CWEOP)为基本原理,设计完成了自动电光检测系统,并采用锁相放大技术,对超薄层异质结外延材料进行了电场分布的测试,由此对其均匀性进行了评估.通过实验探讨了超薄层异质结外延材料2DEG分布不均匀的电光检测标准、最佳测试条件等,并对影响测量结果的因素进行了分析.本方法的突出优点是能够无损地对超薄层异质结外延材料不均匀的2DEG进行定位.

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Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 May 1997

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