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马芙蓉, 李雪春, 梁宏, 吴虎才, 李晓民, 陈如意, 罗晏, 卢志恒. 应用ICP-AES表征高剂量氧注入过程中的金属污染[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(8): 813-816.
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Key words: SOI材料, 金属污染, 感应耦合等离子体技术
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Received: 20 August 2015 Revised: Online: Published: 01 August 2003
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马芙蓉, 李雪春, 梁宏, 吴虎才, 李晓民, 陈如意, 罗晏, 卢志恒. 应用ICP-AES表征高剂量氧注入过程中的金属污染[J]. 半导体学报(英文版), 2003, 24(8): 813-816.
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