Chin. J. Semicond. > 1992, Volume 13 > Issue 10 > 646-653

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一种新的KLEED/CMTA方法(Ⅲ)——适用于由不同种原子构成的表面

贾金峰 , 赵汝光 and 杨威生

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    Received: 19 August 2015 Revised: Online: Published: 01 October 1992

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      贾金峰, 赵汝光, 杨威生. 一种新的KLEED/CMTA方法(Ⅲ)——适用于由不同种原子构成的表面[J]. 半导体学报(英文版), 1992, 13(10): 646-653.
      Citation:
      贾金峰, 赵汝光, 杨威生. 一种新的KLEED/CMTA方法(Ⅲ)——适用于由不同种原子构成的表面[J]. 半导体学报(英文版), 1992, 13(10): 646-653.

      • Received Date: 2015-08-19

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