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邵刚, 刘新宇, 和致经, 刘键, 魏珂, 陈晓娟, 吴德馨, 王晓亮, 陈宏. 高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(1): 88-91.
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邵刚, 刘新宇, 和致经, 刘键, 魏珂, 陈晓娟, 吴德馨, 王晓亮, 陈宏, 高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(1), 88-91
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高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制
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Abstract
报道了基于蓝宝石衬底的高性能1mm AlGaN/GaN HEMTs功率器件.为了提高微波功率器件性能,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案.测试表明,器件电流密度为0.784A/mm,跨导197mS/mm,击穿电压大于40V,截止态漏电较小,1mm栅宽器件的单位截止频率达到20GHz,最大振荡频率为28GHz,功率增益为11dB,功率密度为1.2W/mm,PAE为32%,两端口阻抗特性显示了在微波应用中的良好潜力. -
References
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