Chin. J. Semicond. > 1999, Volume 20 > Issue 7 > 559-561

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低温Si-GSMBE中Si_2H_6的热裂解及对Si生长的影响

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李建平, 黄大定, 刘金平, 刘学锋, 李灵宵, 朱世荣, 孙殿照, 孔梅影. 低温Si-GSMBE中Si_2H_6的热裂解及对Si生长的影响[J]. 半导体学报(英文版), 1999, 20(7): 559-561.

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Received: 20 August 2015 Revised: Online: Published: 01 July 1999

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李建平, 黄大定, 刘金平, 刘学锋, 李灵宵, 朱世荣, 孙殿照, 孔梅影. 低温Si-GSMBE中Si_2H_6的热裂解及对Si生长的影响[J]. 半导体学报(英文版), 1999, 20(7): 559-561.

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