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马庆华, 陈建才, 吴军, 孔金丞, 杨宇, 姬荣斌. 液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性的研究[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 513-516.
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液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性的研究[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 513.
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液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性的研究
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Abstract
用水平推舟液相外延的方法,以CdZnTe作衬底,固态HgTe作为Hg补偿源,从富Te-HgCdTe溶液中外延生长大面积HgCdTe薄膜。通过选择合适的温度控制和生长速率,获得组分均匀性和重复性较好的大面积长波HgCdTe薄膜。 -
References
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