优化的基于模型的光学邻近矫正算

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蔡懿慈, 王旸, 周强, 洪先龙. 优化的基于模型的光学邻近矫正算[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 601-605. ****优化的基于模型的光学邻近矫正算[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 601.

Citation:

蔡懿慈, 王旸, 周强, 洪先龙. 优化的基于模型的光学邻近矫正算[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 601-605. ****

优化的基于模型的光学邻近矫正算[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 601.

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蔡懿慈, 王旸, 周强, 洪先龙. 优化的基于模型的光学邻近矫正算[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 601-605. ****

优化的基于模型的光学邻近矫正算[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 601.

Abstract

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提出了一种新的优化的基于模型的光学邻近矫正算法，该算法充分考虑了图形内部及图形之间的光学邻近影响，实现了线段切割和移动步长的自适应性，提高了系统的矫正精度及矫正速度，实验结果表明该算法是有效的．

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