Chin. J. Semicond. > 1998, Volume 19 > Issue 5 > 389-393
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气态源分子束外延GeSi合金中的低温生长动力学研究

刘学锋 , 刘金平 , 李建平 , 孙殿照 , 孔梅影 and 林兰英

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    Received: 18 August 2015 Revised: Online: Published: 01 May 1998

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      刘学锋, 刘金平, 李建平, 孙殿照, 孔梅影, 林兰英. 气态源分子束外延GeSi合金中的低温生长动力学研究[J]. 半导体学报(英文版), 1998, 19(5): 389-393.
      Citation:
      刘学锋, 刘金平, 李建平, 孙殿照, 孔梅影, 林兰英. 气态源分子束外延GeSi合金中的低温生长动力学研究[J]. 半导体学报(英文版), 1998, 19(5): 389-393.
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      • Received Date: 2015-08-18

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