Chin. J. Semicond. > Volume 2 > Issue 4 > Article Number: 317

确定n-Si补偿度的简捷方法

孙毅之 , 张又立 , 薛绍仁 and 徐维明

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Abstract: <正> 在确定 n-Si补偿度时通常采用变温的霍尔测量进行霍尔分析或迁移率分析方法,前者必须具备比液氮温度低很多的温度条件,费时而冗长.迁移率分析则根据n-Si的能带结构和散射机构,由液氮温度下的迁移率值和室温下测量载流子浓度得出补偿度.虽然迁移率分析方法较霍尔分析已经大大简化,但仍然要变换样品温度;况且对在室温下呈高阻的样品,测量也比较困难.我们根据电中性方程和Si中电子散射机构提出了只根据液氮温度下霍尔测量数据确定补偿度的方法.

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Manuscript received: 20 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 April 1981

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