Chin. J. Semicond. > Volume 18 > Issue 11 > Article Number: 825

电迁徙参数—电流密度因子电流斜坡测试法

李志国 , 孙英华 , 邓燕 , 张炜 , 程尧海 , 郭伟玲 and 张万荣

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Abstract: 本文对电迁徙参数电流密度因子n及n值的精确测量技术进行了深入研究.首次提出了动态电流斜坡电流密度因子测试法(DCR).该方法与传统的MTF法不同,能精确控制金属条温,消除了高电流密度条件下焦耳热的影响,提高了n值的测量精度与速度.研究了四种不同样品直流和脉冲条件下的n值.实验结果表明,n值与材料、频率、占空比有关,与温度、一定范围内的电流密度无关.

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Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 November 1997

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