Chin. J. Semicond. > Volume 18 > Issue 11 > Article Number: 872

用改进的图形结构测量金属/薄层半导体的接触电阻率

华文玉 and 陈存礼

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Abstract: 提出一种诊断金属/薄层半导体欧姆接触质量的改进测试图形──单点圆环结构模型.本结构不仅样品制备简单,只需做上一个小圆点和一个同心的圆环接触,无需台面绝缘,而且还有多样的灵活性.整个测试都是定域在一个小圆环内,无需考虑边界效应以及邻近其他图形的影响.发展和讨论了此模型的两种演变结构形式,使之更为简捷实用.所得结果与文献的报道一致.

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Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 November 1997

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