Chin. J. Semicond. > 2005, Volume 26 > Issue 3 > 547-553
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带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器

程保罗, 李昕欣, 王跃林, 焦继伟, 车录锋, 杨恒, 戈肖鸿 and 宋朝晖

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Abstract: 研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器．为实现该加速度传感器，提出了一套新的体硅微机械工艺，使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件．传感器采用在深槽侧壁（悬臂梁弯曲的表面）制作压阻的方法，灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍．传感器利用集成在内的静电驱动器，实现电自检测功能．

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    Received: 19 August 2015 Revised: Online: Published: 01 March 2005

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      程保罗, 李昕欣, 王跃林, 焦继伟, 车录锋, 杨恒, 戈肖鸿, 宋朝晖. 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 547-553. ****带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 547.
      Citation:
      程保罗, 李昕欣, 王跃林, 焦继伟, 车录锋, 杨恒, 戈肖鸿, 宋朝晖. 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 547-553. ****
      带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 547.
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      带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器

      • Received Date: 2015-08-19

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