Chin. J. Semicond. > 2004, Volume 25 > Issue 1 > 60-63
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直拉硅单晶中的流动图形缺陷

刘彩池 , 乔治 , 周旗钢 , 王敬 , 郝秋艳 , 张建峰 , 李养贤 and 任丙彦

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Key words: 直拉硅单晶, FPDs, 空洞, 原子力显微镜

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    Received: 19 August 2015 Revised: Online: Published: 01 January 2004

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      Article Navigation >  Journal of Semiconductors  > 2004  >  25(1): 60-63
      刘彩池, 乔治, 周旗钢, 王敬, 郝秋艳, 张建峰, 李养贤, 任丙彦. 直拉硅单晶中的流动图形缺陷[J]. 半导体学报(英文版), 2004, 25(1): 60-63.
      Citation:
      刘彩池, 乔治, 周旗钢, 王敬, 郝秋艳, 张建峰, 李养贤, 任丙彦. 直拉硅单晶中的流动图形缺陷[J]. 半导体学报(英文版), 2004, 25(1): 60-63.
      shu

      • Received Date: 2015-08-19

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