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宇慧平, 隋允康, 张峰翊, 常新安. 勾形磁场下直径300mm CZ Si熔体中氧浓度分布的数值模拟[J]. Journal of Semiconductors, 2005, 26(3): 517-523.
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勾形磁场下直径300mm CZ Si熔体中氧浓度分布的数值模拟[J]. Chin. J. Semicond., 2005, 26(3): 517.
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勾形磁场下直径300mm CZ Si熔体中氧浓度分布的数值模拟
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Abstract
采用低雷诺数K-ε紊流模型,考虑自然对流、晶体旋转和坩埚旋转等因素,对晶体直径为300mm,磁场强度变化范围在0~0.12T条件下,熔体硅内流场及氧的浓度分布、磁场分布等作了数值模拟.计算中采用有限体积法,运用SIMPLE(semiimplicit method for pressure linked equations)算法耦合压力和速度场,动量方程、能量方程中对流项的离散采用QUICK(quadratic upwind interpolation of convective kinematics)格式,紊动能和耗散项方程中对流项的离散采用迎风格式.数值模拟结果表明,在勾形磁场作用下,熔体硅内的流场、氧的浓度分布与无磁场作用相比有较大不同,随着磁场强度的增加,生长界面处氧的浓度降低,并且磁场确实能有效地抑制熔体内的紊流,有利于晶体生长. -
References
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