Chin. J. Semicond. > Volume 12 > Issue 5 > Article Number: 284

硼磷硅玻璃在俄歇电子谱分析中的电子束和离子束辐照效应

陈维德 and H.Bender

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Abstract: 本文研究了硼磷硅玻璃(BPSG)膜在俄歇电子谱(AES)分析中电子束和离子束辐照效应.结果表明,能量电子和离子非常容易引起辐照损伤.电子束辐照会引起还原和脱附效应以及磷硼的表面分凝;离子束辐照仅仅引起还原效应,不会产生磷和硼的表面堆积现象.这说明磷和硼的表面分凝是与低能电子组成的表面负电荷有关.

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Manuscript received: 19 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 May 1991

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