Chin. J. Semicond. > Volume 17 > Issue 7 > Article Number: 513

扫描隧道显微镜重掺硅(111)表面微缺陷研究

刘鸿飞,秦福,朱悟新,尤重远,陈开茅

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Abstract: 利用电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)初步研究了重掺锑硅(111)抛光片表面的微结构.多数硅晶片表面不同部位的STM形貌相表明,表面处理过程产生的微缺陷远比晶体生长过程产生的微缺陷多;粗糙度约为几个纳米的大面积平整区域与面积虽小但缺陷密度很高而且无规则分布的微区共存.微缺陷密度与晶体完整性、掺杂浓度和抛光条件有关.轻掺锑硅(111)表面相对平整,微结构尺寸较大(100nm左右)边缘较平滑;重掺锑硅表面微缺陷密度很高,结构复杂,平整度明显降低.表面机械损伤,杂质条纹,过腐蚀等缺陷密度通过优化表面抛光条件可

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Manuscript received: 18 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 July 1996

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