Chin. J. Semicond. > Volume 3 > Issue 2 > Article Number: 151

Si-SiO_2-Al_2O_3结构的电子束辐照效应

林理彬 , 田景文 , 谢建华 , 陈伯英 , 唐方元 , 熊文树 and 林茂清

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Abstract: <正> 本文介绍了Si-SiO_2-Al_2O_3系统的电子束辐照及实验结果,定性地讨论了辐照能量、剂量及剂量率的影响.根据辐射效应,我们认为Al_2O_3-SiO_2及Al_2O_3-Si结构中Al_2O_3膜内靠近界面处存在有受主型界面态,表现出负电荷性质,辐射的电离效应进一步增强了界面的负电荷效应.同时实验结果还表明电子轰击引起了硅中杂质在界面附近的再分布.

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Manuscript received: 20 August 2015 Manuscript revised: Online: Published: 01 February 1982

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