Chin. J. Semicond.
1985, 6(1): 76-81
null. null[J]. Chin. Journal of Semiconductors, 1985, 6(1): 76.
徐立, 钱佩信, 侯东彦, 林惠旺, 李志坚, 王豫生, 阎建华, 郑胜男. 瞬态退火注砷硅亚稳态浓度的后热处理特性研究[J]. Chin. J. Semicond., 1985, 6(1): 76..Export: BibTex EndNote
徐立, 钱佩信, 侯东彦, 林惠旺, 李志坚, 王豫生, 阎建华, 郑胜男. 瞬态退火注砷硅亚稳态浓度的后热处理特性研究[J]. Chin. J. Semicond., 1985, 6(1): 76...