Chin. J. Semicond.
1989, 10(9): 659-666
null. null[J]. Chin. Journal of Semiconductors, 1989, 10(9): 659.
吴春武, 殷士端, 张敬平, 范缇文, 刘家瑞, 朱沛然. Ni/Si,Pt/Si,Ir/Si系的As离子注入和退火[J]. Chin. J. Semicond., 1989, 10(9): 659..Export: BibTex EndNote
吴春武, 殷士端, 张敬平, 范缇文, 刘家瑞, 朱沛然. Ni/Si,Pt/Si,Ir/Si系的As离子注入和退火[J]. Chin. J. Semicond., 1989, 10(9): 659...