Chin. J. Semicond.
1980, 1(3): 198-203
null. null[J]. Chin. Journal of Semiconductors, 1980, 1(3): 198.
莫党, 卢因诚, 李旦晖, 刘尚合, 卢武星. 椭圆偏光法研究砷离子注入硅的损伤和退火[J]. Chin. J. Semicond., 1980, 1(3): 198..Export: BibTex EndNote
莫党, 卢因诚, 李旦晖, 刘尚合, 卢武星. 椭圆偏光法研究砷离子注入硅的损伤和退火[J]. Chin. J. Semicond., 1980, 1(3): 198...