Chin. J. Semicond.
1989, 10(7): 503-508
null. null[J]. Chin. Journal of Semiconductors, 1989, 10(7): 503.
高玉芝, 夏宗璜, 武国英, 张利春, 黄济群, 张德贤. 空心阴极离子淀积TiN薄膜特性研究[J]. Chin. J. Semicond., 1989, 10(7): 503..Export: BibTex EndNote
高玉芝, 夏宗璜, 武国英, 张利春, 黄济群, 张德贤. 空心阴极离子淀积TiN薄膜特性研究[J]. Chin. J. Semicond., 1989, 10(7): 503...